高純氬氣色譜分析儀:GC-9280型氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,最小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器,采用中心切割技術(shù),進樣閥均帶有吹掃保護氣路;整機采用多柱箱設(shè)計,并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進樣量一致。
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一般雜質(zhì) |
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雜貨種類 |
H2 |
O2(Ar) |
N2 |
CH4 |
CO |
CO2 |
檢測限 |
5 |
10 |
10 |
5 |
25 |
5 |
碳氫化合物 |
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雜質(zhì)種類 |
C2H4 |
C2H6 |
C3H6 |
C3H8 |
C4H8 |
C4H10 |
iC4H10 |
檢測限 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |
20 |